年度 102
计画类别 科技部
计画名称 金膜厚制程的最适动态调整决策与剖面追踪(2/2)
参与人 杨素芬
职称/担任之工作 计画主持人
计画期间 2014.08 ~ 2015.07
补助/委讬或合作机构 国科会