年度 102
計畫類別 科技部
計畫名稱 金膜厚製程的最適動態調整決策與剖面追蹤(2/2)
參與人 楊素芬
職稱/擔任之工作 計畫主持人
計畫期間 2014.08 ~ 2015.07
補助/委託或合作機構 國科會